- スキャナの校正サンプルセットです
- 正確なパターンを観察し、ピッチ幅を元に校正値を算出できます
- 従来型AFMにもご使用できます
品名 |
型番 |
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校正サンプル (セット) |
標準スキャナ用 |
(セット内容) XY用サンプル :1個 Z用サンプル :1個 校正用カンチレバー :2本 校正手順書 :1部 |
CS-ZS20-N1 |
広域スキャナ用 |
CS-ZW100N2 |
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超広域スキャナ用 |
CS-ZU500N3 |
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校正サンプル (単品) |
XY用サンプル |
XY-150A1 |
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Z-標準スキャナ用 |
ZS20-N1 |
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Z-広域スキャナ用 |
ZW100-N2 |
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Z-超広域スキャナ用 |
ZU500-N3 |
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校正用カンチレバー |
CA-NN1 |