技術ノート第12弾を公開しました。
半導体製造で用いられるフォトリソグラフィの、現像過程を高速AFMでリアルタイム観察した例をご紹介します。

フォトレジスト現像過程の直接観察
https://www.ribm.co.jp/tec-info/tec-note/resist